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複合型奈米壓印機
ARO-mini2
複合型(可同時進行紫外光固化及熱固化)
實現奈米壓印微影
用於微小圖案複製
用於奈米級圖案轉印
精巧桌上型適合試驗室研發人員使用
壓印尺寸:Ø4吋
石英板尺寸:100mm x 100mm
UV LED波長:365nm / 395nm
壓印壓力設置:80N至480N
尺寸: (主體) 25cm(寬) x 30cm(深) x 55cm(高)
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