複合型奈米壓印機

ARO-mini2

複合型（可同時進行紫外光固化及熱固化）
實現奈米壓印微影
用於微小圖案複製
用於奈米級圖案轉印
精巧桌上型適合試驗室研發人員使用

壓印尺寸：Ø４吋

石英板尺寸：100mm x 100mm

UV LED波長：365nm / 395nm

壓印壓力設置：80N至480N

尺寸: (主體) 25cm(寬) x 30cm(深) x 55cm(高)